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微型蠕动泵在半导体行业的应用

文章来源: 上传时间:2021-12-06 浏览次数:
  蠕动泵常被应用在各行各业中,其应用不仅体现在流体相关的行业,更是在生物制药、水质分析、药剂分装、污水处理以及油漆分装等行业都有广泛的应用。而且蠕动泵也分很多类型,比如工业蠕动泵、医疗蠕动泵、微型蠕动泵等等,这些蠕动泵的类型不同,所应用的行业也不相同。下面蠕动泵生产厂家普瑞流体小编为大家详细讲解微型蠕动泵在半导体行业的应用。

  半导体制造行业始终要求控制液体的流动,苛刻的应用之一是化学机械平坦化(CMP)。当CMP工具不能将一致的浆料速率分配到抛光基材上时,它会对产量,化学品使用和材料完整性产生极大的负面影响。晶圆厚度的变化,缺陷密度的增加,工具停机时间和晶圆废料的增加只是流程控制不良可能导致的一些问题。

微型蠕动泵在半导体行业的应

  微型蠕动泵非常适合半导体行业的高纯度和腐蚀性化学环境,对于CMP,提供了在抛光过程中的使用点浆料流分配到晶片所需的线性和可重复性,低剪切力对CMP浆料温和,其变速操作允许在很宽的操作范围内控制流量,以保持过程的完整性。
  浆料的性能可实现的晶圆平面度,微型蠕动泵通过控制浆料输送和分配,有助于实现这一目标。小流量蠕动泵的非侵入式设计提供了直的流动路径,没有死流区域,使浆料凝聚,硬化并污染过程。提供稳定的流体输送不仅可以确保浆料不断流向抛光垫,还可以减少浆料、化学品以及去离子水的浪费。
  常州普瑞流体技术有限公司已经拥有了完整的蠕动泵生产体系,具备多年的技术积累,了解各行业的具体需求,能够为用户提供全系列蠕动泵产品与配套的方案,可以为客户快速实现系统开发与集成提供技术支持与方案建议,节省客户的开发与应用周期,节约成本。



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